微系统与微结构制造教育部重点实验室成立于2006年，2009年7月通过建设验收。实验室现位于哈工大科学园B1栋，建筑面积4000平方米。实验室瞄准国际科学前沿，立足国防建设，面向国民经济主战场，围绕我国制造业中长期发展规划和“中国制造2025”优先发展主题，以微系统和微结构为对象，依托哈尔滨工业大学机械工程、材料科学与工程、仪器科学与技术、化学工程与技术等四个A类学科，本着“以微带纳、以纳促微、微纳融合、创新发展”的理念，通过多学科交叉与融合，以微纳米技术为支撑、以非硅微纳制造技术与装备为主线，开展前瞻性、创新性基础和应用基础研究，形成微结构设计、表征、制造、微系统集成与应用于一体的微系统与微结构制造技术研究体系，建设高水平的人才培养和科学研究基地，为我国在微纳制造领域的发展提供科技与人才支撑。

实验室重点发展微纳制造基础理论与方法、微纳结构制造技术与装备、微纳测试与表征、微系统集成与应用等四个研究方向。2013-2017年间，承担国家重大科技专项、国家重点研发计划、“973”计划、“863”计划、国家自然科学基金、国防重点等国家级科研项目184项，到账科研经费超过3.5亿元；研究成果获国家技术发明二等奖5项，国防技术发明特等奖1项，省部级科技奖励14项；新增中国工程院院士1人，杰青4人，国家四青13人，建成了一支以院士、杰青为学术带头人、中青年学者为学术骨干的高层次、高素质、多学科交叉与融合的学术队伍。五年来，实验室实现了跨越式发展，取得了一批具有国际影响力的高水平研究成果，奠定了实验室在我国微纳制造技术领域的领先地位，为提高我国高端制造业水平做出了重要贡献。