机构概况
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    微系统与微结构制造教育部重点实验室成立于2006年,2009年7月通过建设验收。实验室以微系统与微结构为研究对象,以机械制造及其自动化、机械电子工程、材料加工工程、精密仪器及机械等4个国家级重点学科为主要依托,以微电子与固体物理、化学、物理学等学科为基础,通过多学科交叉与融合,建设和完善了微纳米制造理论与方法、微系统与微结构设计、微结构加工技术、微纳米技术装备、微成形与微连接技术、纳米材料制备表征与应用等若干研究方向。

    实验室拥有科研用房面积4000余平方米,仪器设备300余台,设备总值6000余万元。现有千人计划教授1名,长江学者5名,国家杰出青年基金获得者3名,国家优秀青年基金获得者2名,国家重大基础研究计划首席科学家1名,教育部新世纪优秀人才14名,黑龙江省杰出青年基金获得者8名,教育部创新团队1个。2007-2012年间,承担微纳米技术研究方向科研项目259项、总经费2亿余元;获国家技术发明二等奖2项,省部级一等奖6项,二等奖5项;发表学术论文719篇,获国家发明专利112项;获全国优秀博士学位论文奖1项,提名奖4项。