主要研究领域
纳米科技
纳米材料
纳米生物
纳米器件
纳米环境
纳米能源
纳米表征
微纳制造
微塑性成形
微注射成形
SPM加工
微细特种加工
微铸造成形
微连接
微纳系统集成
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MEMS与集成传感器研究组
发布人:系统管理员  发布时间:2011-03-10   浏览次数:5166
电话:0451-86413441 电邮:lxw@hit.edu.cn
 



课题组负责人:刘晓为
职            务:教授/博导,微电子科学与技术系主任,MEMS中心主任,国家集成电路人才培养基地(哈工大)主任,微系统与微结构制造教育部重点实验室副主任。
办 公  地 点:科学园2A楼603房间
个 人  网 站:

 


个人简历

教授,博导,1982年本科毕业于哈尔滨工业大学半导体器件专业留校任教至今,1993年-1994年内赴丹麦技术大学学习进修,1998年任教授。

 


主要研究方向

1、集成电路设计与集成传感器
2、MEMS微能源
3、物联网技术
4、纳米器件与纳米技术
5、微流控芯片与BioMEMS


代表性成果

1、“微型直接甲醇燃料电池制造方法关键技术研究”省技术发明二等奖。
2、A self-breathing micro-direct methanol fuel cell with a spoke cathode structure,Appl. Phys. Lett. 2010,Vol.97
3、Novel modification of Nafion117 for a MEMS-based micro direct methanol fuel cell,J.Micromechanics and Microengineering,2006,Vol.16
4、Polysilicon nanofilm pressure sensor,Sensors and Actuators,2009,Vol.154
5、带增益指示功能的多级自动增益控制集成电路系统,ZL200510009862.1,发明专利